随着激光发射系统的发射功率不断提高， 对精确控制高能激光束发射方向的要求也越来越 高。快 速 控 制 反 射 镜 （Ｆａｓｔ Ｓｔｅｅｒｉ ｎ ｇ  Ｍ ｉｒｒｏｒ ， ＦＳＭ ） 是可以快速转动反射镜实时控制光束方向 的装置， 它通过调整反射镜的角度达到控制激光 束发射方向的目的， 以体积小、 结构紧凑、 速度快、 精度高、 带宽高等优点被广泛应用于天文望远镜、 激光通讯、 图像稳定、 复合轴精密跟踪、 瞄准等光 学系统中， 已成为激光发射系统中进行光束方向 控制的关键部件之一。

近年来， 欧美国家采用了全柔性机构设计概 念， 将柔性机构与音圈电机或压电陶瓷驱动相结 合， 设计出了一系列柔性轴Ｆ Ｓ Ｍ 系统： 德国Ｐ Ｉ公 司研制了多种规格用于不同领域的快速反射镜， 是微驱动领域的先驱； 此外， 英国 Ｑ ｕ ｅ ｅ ｎ ｓ ｇ ａ ｔ ｅ公 司， 美国 Ｂ ａ ｌ ｌ 　Ａ ｅ ｒ ｏ ｓ ｐ ａ ｃ ｅ 　＆ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ 公司， 意 大利 Ｔ ｈ ｅ ｒ ｍ ｏ 　Ｔ ｒ ｅ ｚ公司等也在此领域进行了深 入研究， 研制出一系列不同参数的快速反射镜。 这类产品的主要优点是高精度、 高模态和长寿命， 但由于相关的理论研究尚不成熟， 此类机械装置 均无法突破行程较小的限制， 能承载的反射镜口 径及质量等都较低。国内如成都光电技术研究 所， 西安２ ０ ５ 研究所， 哈尔滨工业大学等研制出的 两轴系及柔性轴快速反射镜均已广泛应用于实际 工程项目中。但框架式快速反射镜驱动运动复 杂， 所需力矩较大； 柔性轴快速反射镜在国内的研 究起步较晚， 虽已发表了很多高水平学术论文， 但 转化为工程方法的应用还有待探索研究

根据高精度机械轴系与柔性轴系的特 点， 设计了一种以柔性铰链为运动传递元件的快速反射镜， 采用直线音圈电机作驱动元件， 高精度光栅测微仪实现位置闭环控制，具有结构简单、 通光口径大、 所需驱动力小、行程大、控制精度高等 优点，可满足工程上对快速反射镜行程及控制精 度等方面的性能要求。